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NTEK北测检测集团

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一文读懂功率半导体器件MOSFET与车规级AEC-Q101认证

2024-12-12
33 作者: NTEK北测检测集团
本文关键词:
01 MOSFET介绍
如果说晶体管能够被称为20世纪最伟大的发明,那么毫无疑问,MOSFET在其中功不可没。1925年,关于MOSFET基本原理的专利发表,1959年贝尔实验室发明了基于此原理的MOSFET结构设计。时至六十年后的今天,大至功率变换器,小至内存、CPU等各类电子设备核心元件,无一不用到MOSFET。



02 MOSFET工作基本原理
基本概念-半导体
金属材料可以导电,绝缘材料不导电,那怎么样实现一个东西既能够导电又能够不导电?那就是半导体。MOSFET作为一种半导体器件,我们需要它实现的功能按最简单话来说就是既能够实现电路的通,又能够实现电路的断。放在数字电路里,这就是实现0和1的方式,在功率电路里,这就是实现PWM转换器工作的基本手段。

如何实现通?当材料内部具有自由移动的电子(负电荷)或者空穴(正电荷)的时候就是导通的(假如说电子或空穴被晶格束缚,那么同样无法导电),存在载流子的时候材料是导通的。如何实现断?那就是将一定区域内的自由载流子去除,材料就不能够导电了,从而达到阻断电流的作用。    

我们目前用得最多的半导体材料,比如硅(Si),是Ⅳ族元素,本身最外层电子为4,可以形成稳定的晶格结构,因此它本身是无法导电的,如下图所示,所有电子和原子核都被牢牢束缚在稳定的结构中出不来,所以没有自由移动的电荷。



稳定的Si结构
而当材料中掺杂了其他元素,比如说Ⅲ族或者Ⅴ族元素,甚至其他元素,取代了晶格中的位置。掺杂Ⅴ族元素,结构中就有了除了最外层4个以外的一个电子(即多数载流子为电子),掺杂了Ⅲ族元素,结构中就缺了一个电子构成稳定结构,即形成一个空穴(即多数载流子为空穴)。如下图所示,左图为掺杂Ⅴ族元素的示意图,Ⅴ族元素最外层有五个电子,四个电子参与形成共价键,因此还剩余一个电子;右图为掺杂Ⅲ族元素的示意图,Ⅲ族元素最外层有三个电子,只有三个电子用于形成共价键,因此留下一个空穴。为了方便,可以直接将电子和空穴理解成负电荷和正电荷。    



掺杂后的结构
由于带电粒子在电场中会发生移动,假如在电场的作用下,使得结构中的电子和空穴都跑掉了,那么这个区域不存在自由移动的载流子,因此区域就不再导电,这样的区域称为耗尽区(载流子被电场耗尽)。牢牢记住,耗尽区内不存在自由移动的载流子,因此是断开状态。MOS的核心原理就是利用电场的作用,使得一定区域时而导电时而断开。

MOSFET核心部分  
提起MOSFET,我们不禁要问,为什么叫MOSFET?MOSFET全称为Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor,即金属氧化物半导体场效应晶体管。这个名字实际上是跟其结构息息相关,我们看下图中的核心结构(仅仅是取其中局部进行讲解)。从上往下依次是金属、氧化层、掺杂的半导体材料,连起来就是Metal-Oxide-Semiconductor,有其名必有其因。    



平行极板模型
那何为Field-Effect Transistor?
这里的Field自然指电场,所以FET实际上就是指这种器件是电场驱动的晶体管。如果在上下极板加上正电压,就会在材料中建立电场,如下图所示,其中绿色的线为电场线。



由于图中这里所示为P掺杂(Ⅲ族元素掺杂),红色区域中存在空穴(也就是正电荷),在外加电场的作用下,正电荷就会往下离开,从而在上表面形成不含有自由载流子的区域,也就是耗尽区(depletion region)。


耗尽层的形成


而施加的电压足够高时,将把耗尽层内的空穴进一步驱赶,并吸引电子往上表面运动,在上表面堆积可以导电的电子,从而形成N型半导体,从而形成反型层(Inversion layer, 之所以叫反型层是指在电场作用下,该区域内的自由载流子与掺杂形成的半导体载流子相反)。一般我们将开始形成反型层时施加的电压称为门槛电压。反型层也就是我们后面要提到的导电沟道(沿水平方向形成导电沟道)。


反型层的形成


导电沟道形成的图:


反型层形成仿真图


MOSFET工作原理    
以平面增强型N沟道MOSFET为例,基本结构如下图所示。可以看到,从左到右为NPN的掺杂,在扩散作用下,会自然形成像图中所示的深红色的耗尽区(depletion region),根据前面所述,耗尽区是不能导电的,因此漏极(Drain)到源极(Source)在未加外加电场的时是断开的,因此该结构是Normal off的结构。

MOSFET normal off


注意到,图中正中心区域就是之前讲的核心部分,从上往下,橘黄色,黄色,浅红色依次为金属、氧化物、P掺杂。那么又是如何控制MOSFET导通的呢?利用沟道。
当 Vgs>0,会开始在氧化层下面首先形成新的耗尽层(depletion region),如下如所示。
耗尽层形成
当 Vgs>Vth,形成反型层,如下图所示。    

反型层形成


由于反型层相当于N掺杂的半导体,因此D和S直接直接连通,因此MOSFET导电沟道形成,进入导通状态。

03 MOSFET输出特性
如下图所示为增强型N沟道MOS输出特性。


对于上图所示的MOS,有三种工作区域    



04 MOSFET符号与命名

MOSFET大家族


门极符号
MOSFET不同于JFET,在Gate是不与导电沟道相连的,是有一层氧化绝缘层的,因此从符号中可以看出,MOSFET中Gate和沟道是由缝隙的,也就是有两条竖线,或者一条竖线与三段虚线,而JFET则是一条竖线。另外,细心的你可能还会发现,有的Gate形状为“L”,有的则是“T”,如果是“L”,意味着Gate和Source在物理结构上靠得更近。    
沟道形状
增强型MOSFET在未加外部电压时为断开(normal off),而耗尽型MOSFET则在未加外部电压时为导通(normal on)。所以增强型MOSFET的沟道为三段虚线,意味着还未导通,而耗尽型MOSFET的沟道则是一条直线。
箭头方向
对于含有bulk connection的MOSFET,区分P沟道与N沟道就是靠箭头方向。箭头方向遵循一个准则,P指向N,如果沟道是P,则由沟道指向外,如果沟道是N,则由外指向沟道。

05 MOSFET介绍市场及应用
中国MOSFET器件市场中,英飞凌排名第一,中国本土企业中,华润微电子、扬杰科技、闻泰收购的安世半导体和吉林华微电子进入前十。中国MOSFET市场下游需求迅速扩大的大环境下,中国MOSFET行业的产销规模在不断扩大,对国外产品的进口替代效应不断凸显。目前,我国超级结MOSFET的市场参与者以国际大厂为主,但其产品价格相对较高。
受益于国家产业政策扶持和行业技术水平提升等多重利好因素,我国MOSFET企业通过产品的高性价比持续提高市场占有率,国产化水平不断提升。功率MOSFET特别是超级结MOSFET高端分立器件产品由于其技术及工艺的复杂度,还较大程度上依赖进口,未来进口替代空间巨大。
2023年中国MOSFET市场规模约为56.6亿美元。在下游的应用领域中,消费电子、通信、工业控制、汽车电子占据了主要的市场份额,其中消费电子与汽车电子占比最高。在消费电子领域,主板、显卡的升级换代、快充、Type-C接口的持续渗透持续带动MOSFET器件的市场需求。在汽车电子领域,MOSFET器件在电动马达辅助驱动、电动助力转向及电机驱动等动力控制系统,以及电池管理系统等功率变换模块领域均发挥重要作用,有着广阔的应用市场及发展前景。

06 车规级MOSFET认证AEC-Q101
AEC即Automotive Electronics Council,是美国汽车电子委员会的简称。AEC由克莱斯勒,福特和通用汽车发起并创立于1994年,目前会员遍及全球各大汽车厂、汽车电子和半导体厂商,符合AEC规范的零部件均可被上述三家车厂同时采用,促进了零部件制造商交换其产品特性数据的意愿,并推动了汽车零件通用性的实施,为汽车零部件市场的快速成长打下基础。AEC-Q为AEC组织所制订的车用可靠性测试标准,是零件厂商进入汽车电子领域,打入一级车厂供应链的重要门票。


① AEC-Q101认证是车规级分立半导体器件的准入门槛
AEC-Q101是基于失效机理的分立半导体器件应力测试鉴定,由AEC委员会制定,适用于车用分立半导体器件的综合可靠性测试认证标准,是分立器件应用于汽车领域的基本门槛。首版于1996年发行,目前沿用的最新标准为2021年3月1日发布的E版本。
AEC Q101标准是分立半导体器件(依产品类型、封装形貌及取样数量的要求)执行并通过的必要测试项目。

② 要求通过AEC-Q101标准的分立器件
二极管、齐纳二极管、稳压二极管、整流二极管、TVS管、MOSFET、IGBT等

③ AEC-Q101产品验证流程


④ AEC-101测试项目分组
各项参数测试:如性能测试、外观、参数验证、物理尺寸、热阻、雪崩耐量、短路可靠性、介质完整性等;
环境应力实验:按照军用电子器件环境适应性标准和汽车电子通用环境适应性标准,执行器件的应力实验,如高温反偏、高温栅偏压、温度循环、高压蒸煮、HAST、高温高湿反偏、高温高湿工作、间歇工作寿命、功率温度循环、常加速、振动、冲击、气密性等;
工艺质量评价:针对封装、后续电子组装工艺,以及使用可靠性进行的相应元器件工艺质量评价,如ESD、DPA、端子强度、耐溶剂试验、耐焊接热、可焊性、绑线拉力剪切力、芯片推力、无铅测试等。

⑤ 北测测试能力及AEC-101技术要求


关于北测
北测集团(以下简称"NTEK")成立于2009年,总部位于深圳,主要从事智能网联汽车、电子通信、新能源的研发验证、检验检测、失效分析、仿真模拟和市场准入等质量研究技术服务。

北测拥有丰富的车规级电子认证经验,已成功帮助100多家企业顺利通过AEC-Q系列认证。北测集团以车企车规元器件国产化需求为牵引,依托国产半导体产业基础,提供完善的检测认证服务,通过AEC-Q车用标准严格把控汽车元器件安全质量,助力国产车规级元器件大力发展,为打造智能汽车安全体系再添新动力。

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