微机电系统(MEMS)架构,使得传感器小型化和集成化,更利于实现传感系统设计和控制。应用,在智慧工业时代应用广泛。AEC-Q103标准规定了基于MEMS架构的压力传感器和麦克风器件对于车用工况的验证要求。
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